นักวิทยาศาสตร์จากสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ละเอียดเซี่ยงไฮ้ สังกัดสถาบันบัณฑิตวิทยาศาสตร์จีน ได้สร้างแพลตฟอร์มแหล่งกำเนิดแสงอัลตรา
นักวิจัยจีนบรรลุประสิทธิภาพ EUV 3.42% ในการผลักดันเครื่องมือผลิตชิปในประเทศ


นักวิทยาศาสตร์จากสถาบันทัศนศาสตร์และกลศาสตร์ละเอียดเซี่ยงไฮ้ สังกัดสถาบันบัณฑิตวิทยาศาสตร์จีน ได้สร้างแพลตฟอร์มแหล่งกำเนิดแสงอัลตรา